High-Power ritmično Magnetron napajanje

High-Power ritmično Magnetron Power Supply prednosti od visoke snage ritmično Magnetron Rasprašenje tehnologija (HIPIMS) ● konvencionalni DC magnetron impuls moć ograničava termalni stres cilja. ● iona sudarni energija može direktno pretvoriti toplinske energije u...

Uvod u proizvod

Prednosti visoke snage pulsni Magnetron Rasprašenje tehnologija(HIPIMS)

● konvencionalni DC magnetron impuls moć ograničava termalni stres cilja.

● iona sudarni energija može direktno pretvoriti u toplinske energije na metu.

● pulsni magnetron izvor napajanja osigurava visok puls energije i niskim duty ciklus.

● pulsni magnetron izvor energije može izravno zamijeniti DC magnetron prskanje struje.

Usporedba između velike snage ritmično Magnetron Rasprašenje iscjedak i DC Magnetron Rasprašenje iscjedak

Karakteristike visoke snage pulsni Magnetron Rasprašenje iscjedak	Karakteristike Dc Magnetron Rasprašenje iscjedak
Katoda pražnjenja napon iznosi 500 ~ 2000 V, Gustoća strujedo 3 ~ 4A/cm².	Intenzitet magnetskog polja je 0,01 ~ 0,05 T dok je radni napon je 300 ~ 700 V pod tipični DC magnetron rasprašenje radni tlak (1 ~ 10 mTorr).
Gustoća elektrona u blizini površine podloge: 10¹⁸~ 10¹⁹m^-³	Gustoća elektrona u blizini površini supstrata: 10¹⁵~ 10¹⁶m^-3
Gustoća energije: 1 ~ 3kW/cm²	Niske ionizacije stopa (~ 1%) cilja tijekom rasprašenje.
Frekvencija: 100 ~ 1000Hz	Inertni plin ioni su u većini
Radni ciklus: 1% ~ 10%	Dodatni pomoćni ionizacije opreme (RF mikrovalna) je potrebno.

Karakteristike visoke snage pulsni Magnetron Rasprašenje napajanje

● Napozitivne i negativne elektrodeiscjedak kontrolira brzom Šiba to izbjeći unos luk iscjedak područje od abnormalne sjaj iscjedak području tradicionalne magnetron rasprašenje. Gustoća struje je do 1018-1019 / m3, što je izuzetno viša od tradicionalnih magnetron kapljica. I s ekstremno visoke ionizacijski nivo od 80% - 99%, to možete jednostavno deponirati raznih naprednih filma sa Jake adhezije.

● Velika snaga pulsni magnetron moć rasprašenje pruža više odličan film karakteristike u smislu filma dosljednost, tvrdoća, otpornost i adhezije.

● s visoko impulsne snage i niske duty ciklus, velike snage ritmično magnetron rasprašenje napajanje može zamijeniti DC magnetron rasprašenje izvor energije izravno bez mijenjanja izvorni magnetron rasprašenje premaz opreme.

● PHP luk suzbijanje tehnologija osigurava da korisnici mogu imati kontrolirati kvalitetu filma više zgodan u procesu Površinske obrade. Sa značajkama za stabilizaciju napona i idealno coup de foue, napajanje može učinkovito spriječiti iskrenje na površini obratka, i značajno poboljšati proizvodnju prinos, površine finoća i film adhezije oplata komada.

● Visoka moć ritmično magnetron napajanje usvaja napredne visokofrekventni inverter prebacivanje snaga izvor tehnologija i visoka moć IGBT moć modul

● Pomoću dodira zaslona microcontroller, napajanje je visoko integrirani i moćne i jednostavne uporabe. Prikaz struje i napona je vrlo jasan i intuitivno. Također, podržava Višekanalni high-speed računajući i brzi puls funkcija.

● napajanjeIma zaštitne funkcije za ugrañenih, prenaponska i temperatura.

● napajanje mogu komunicirati s glavnim računalom putem digitalnih priključaka kao što su RS232, RS485, WIFI i tako dalje, koji proširuje svoje kontrolu funkcija.

Specifikaciju proizvoda:

Model proizvoda	EP50A80H
Ulazna snaga & frekvencija (V/Hz) tri faze i četiri žice	AC380 + N
Ulazna snaga & frekvencija (V/Hz) tri faze i četiri žice	60Hz
Izlazna strujaRaspona (A)	0 ~ 500
Točnost za stalnim Voltag i konstantnom strujom	≤1%
Nazivni izlazni napon (DCV)	800
Maksimalna prosječna snaga (KW)	40
Vršna snaga (KW)	400
Duty ciklus (%)	<>
Težina (KG)	60
Vanjske dimenzije (MM)	575(D)×480(W)×250(H)
IzolacijaRazreda	B
Produktivnost (%)	90
Klasa zaštite kućišta	Ip21
Način rada	Konstantnog napona, stalnim CurrentAnd stalnim načine rada su po izboru.
Hlađenju	Voda za hlađenje
Vanjsko sučelje	Ova serija proizvoda sve usvoji Touch Screen Mikrokontrolera

Usporedba je High-Power impuls Magnetron Rasprašenje moć izvor EP50A80H i ostali proizvodi

	High-Power impuls Magnetron Rasprašenje
Marke	Huttinger	Hauzer	IKS
Modela	Truplasma Highpulse 4000	HIPIMS +	EP50A80H
Max prosjek snage	20KW	20KW	40KW
Vršna snaga	1 MW ~ 8MW	360KW	VODA OD 400 KW
Napon	1KV, 2KV	800	800
Struja	1KA 2KA, 4KA	600	500
Luk otkrivanje	<>	<800ns ="" ="" ="" ="" ="" ="" ="">	<500ns ="" ="" ="" ="" ="" ="" ="">
Pakiranje (B * H * T)	483 x 635 x 676	vrijednost Null	480 x 268 x 700

Prednosti High-Power ritmično Magnetron Rasprašenje moć EP50A80H

●Visoka pouzdanost

EP50A80H pruža više odličan film karakteristike u smislu filma dosljednost, tvrdoća, otpornost i adhezije.

●Sjajan luk suzbijanje tehnologija

EP50A80H usvaja PHP luk suzbijanje tehnologiju, korisnici mogu povoljno kontrolirati kvalitetu filma u procesu Površinske obrade da biste dobili bolju strukturu filma.

●Dobra kompatibilnost

EP50A80H može zamijeniti postojeći magnetron rasprašenje napajanje direktno. Umjesto zamjene katoda materijala i Magnetska polja, korisnici samo trebaju razmijeniti za hlađenje.

●Visok omjer snage za volumen

Velika snaga volumen omjer olakšava integraciju ugradnje opreme za korisnike.

Aplikacija

Velike snage MF magnetron rasprašenje izvor energije je naširoko koristi u plazma, fizičke, kemijske, zdravstvene i raznim područjima znanstvenih istraživanja, mogu zadovoljiti širok spektar proces zahtjeva naročito u vakuum premaz opreme.

← Par: Impulsni Naponski Naponski Napon

Sljedeći: High-Power srednje frekvencije Magnetron Rasprašenje napajanje →

Pošaljite upit

Moglo bi vam se i svidjeti