Kontroler masovnog protoka ΠMFC sa niskim pritiskom - PFC-20
PFC-20, nizak pritisak πMFC kontroler masenog protoka omogućava maksimalno iskorišćenje gasova izvora sigurne isporuke. Sprovođenje niskog pritiska πMFC povećava vreme rada alata smanjujući učestalost promjena izvora gasnog cilindra. Nudi preciznu i preciznu kontrolu niske potrošnje goriva ...
- Uvod u proizvod
UVOD
PFC-20, nizak pritisak πMFC kontroler masenog protoka omogućava maksimalno iskorišćenje gasova izvora sigurne isporuke. Sprovođenje niskog pritiska πMFC povećava vreme rada alata smanjujući učestalost promjena izvora gasnog cilindra. Omogućava preciznu i preciznu kontrolu niskih proticaja gasa u širokom opsegu pritiska sa izvorom pritiska isporuke gasa do 4 Torr.
Ovaj πMFC je najnoviji proizvod MKS dizajniran posebno za SDS i VAC ® izvorne gasove koji služe industriji jonske implantacije. Patentirani dizajn ventila i senzora nudi izuzetnu nultu stabilnost i tačnost za sve uslove protoka uz održavanje mogućnosti brzog postizanja postavljene tačke i ponovljivog upravljanja protokom gasa. Standardni MFC otisak i kontrolni I / O su kompatibilni sa postojećim gasovodima za jednostavnu integraciju i rad.
OSOBINE I KORISTI
◆ Maksimizira izmene koje smanjuju korištenje SDS izvora gasa, što dovodi do veće upotrebe uređaja i smanjenja troškova vlasništva
◆ Neprekidno kontroliše male protoke gasa koji omogućavaju smanjenu potrošnju gasa pomoću parametara optimizovanih za implanterske izvore
◆ Digitalna kontrolna petlja omogućava brzu reakciju na vremenski ciklus procesa minimiziranja zadate tačke
◆ Povećava vreme održavanja alata kroz smanjenje "Nema problema pronađen": MFC zamene
- Uključena ugrađena dijagnostika i softver koji korisnicima omogućava proveru MFC funkcionalnosti bez uklanjanja MFC-a
-E-dijagnostika kroz ugrađeni Ethernet interfejs omogućava nadzor parametara performansi tokom rada
◆ Direktna zamena zamene za najčešće MFC-ove
◆ Smanjuje troškove zaliha kroz multi-gas, multi-range mogućnosti
◆ Vrlo jednostavna konfiguracija i dijagnostika preko Ethernet interfejsa
- Koristi standardni web pregledač - nije potreban poseban softver
- Uključuje aplikaciju za daljinski računar
◆ Svetao okretljivi LED displej omogućava lako pregledavanje brzine protoka, vrste gasa, raspona protoka pune veličine, temperature i Ethernet adrese
DIMENZIONALNA RISANJE I PINUTS
SPECIFIKACIJA
| Performanse | ||
| Puni opseg nivoa (N 2 ekvivalenta) | 2- 20 sccm | |
| Raspon ulaznog pritiska | 4 - 1200 Torr (sa vakuumom na izlazu) | |
| Normalni radni pritisak diferencijal (N 2 ekvivalent) | <10 torr="" pri="" fs="" protoku="" (sa="" vakuumom="" na=""> | |
| Maksimalni pritisak pranja | 150 psig | |
| Burst Pressure | 1500 psig | |
| Kontrolni opseg | 2 do 100% FS | |
| Tipična tačnost | ± 1% podešene tačke za> 10 do 100% FS i ± 0,2% FS za 2 do 10% FS na ulaznim pritiscima> 20 Torr | |
| Ponovljivost | 0,2% FS | |
| Rezolucija | 0,1% čitanja | |
Temperatura Koeficijenti | Zero | ± 0,08% FS / ° C |
| Raspon | ± 0,08% Rdg / ° C | |
Vreme podešavanja regulatora (po Semi smernici E17-0600) | <2> tipično iznad 10% FS pri ulaznim pritiscima> 10 Torr | |
Vreme zagrevanja (do 0,2% FS performanse stabilnog stanja ) | <30> | |
| Normalna radna temperatura | 10 do 50 ° C | |
| Vlažnost skladištenja | 0 do 95% Relativna vlažnost, bez kondenzacije | |
| Temperatura skladištenja | -20 do 65 ° C | |
| Prikaz temperature | 0 do 100 ° C | |
| Jedinice za očitavanje temperature | ° C | |
| Tačnost temperature | ± 2 ° C | |
| Rezolucija temperature | 0.1 ° C | |
| Mehanički | ||
| Fitingi | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Ekran | 4 cifre za vrijednost, 4 karaktera za jedinicu | |
| Integritet curenja | Vanjski (scc / sec He) | <1x10> |
| Kroz zatvoreni ventil | <1,0% fs="" na="" 25="" psig="" u=""> | |
Mokri materijali Standardno | 316 SS VAR (ekvivalentan 316 SS SCQ za kvalitet poluprovodnika), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Površinski završetak | 5 mikroinžinskog proseka Ra | |
| Težina | Manje od 2 lbs. (0,9 kg) | |
| Elektrotehnika | ||
| Konektori | Analogni (napajanje i I / O) | 9-polni D-muški ili 15-polni D-muški |
| Dijagnostika | Ethernet | |
| Ulazni napon | 15-24 VDC ± 5% VDC @ 350mA vrh, 250 mA stabilno stanje | |
| Set Point Command Signal | 0 do 5 VDC | |
| Izlazni signal | 0 do 5 VDC | |
Popularni tagovi: regulator masenog protoka niskog pritiska πmfc - pfc-20, Kina, proizvođači, dobavljači, kupuju, prilagođeni, napravljeni u Kini
