Princip i primjena Holl Ion Source

Princip i primjena izvora holl iona

Princip rada izvora jona

Tip izvora jona

Prema jonskoj energiji dijeli se na:

Visoka energija 200ev ili više, kao što je APS, RF, Kaufmanov izvor jona;

Izvor ionskog iona ispod niske energije 200ev

Divided by Type: \ t

Kaufman tip i Hall tip

Kako funkcionišu izvori jona

U stvarnom gustom okruženju, gas koji se puni u vakuumsku komoru se uklanja upotrebom emitovanih elektrona u interakciji električnih i magnetnih polja, a joni se emituju pod dejstvom električnih i magnetskih polja.

Strukturni princip izvora iona sala
Komponente:
Katoda - emituje elektrone
Anoda - proizvodi ione
Gasni put - obezbeđuje ionizovani gas
Napajanje

Struktura izvora iona Hola

Struktura Kaufmanovog izvora iona

Ionska energija izvora iona:

Splitski izvor jona kaufmana: je napon između anode i mreže
Izvor iona hola: 65-70% anodnog napona

IKS PVD, IET oprema za oblaganje, kontaktirajte: iks.pvd@foxmail.com