Analiza sposobnosti prenosa snage magnetnih ciljeva raspršivanja
May 24, 2018| 1. Ciljna oblast i opseg snage opterećenja
(1) Gustina snage kružnog planetarnog magnetronskog meta je uglavnom 1 ~ 25 W / cm 2
(2) Gustina snage pravougaone planarne magnetronske mete je 1 ~ 36 W / cm 2
(3) Gustina snage magnetronske mete u cilju i konusnog plana magnetron mete (S pištolj) je uglavnom 40 ~ 50 W / cm 2 .
2. Stvarna snaga prenosa magnetronske mete
Pored tehnologije raspršivanja i kvaliteta filmova, stvarna snaga ležišta magnetronskog meta je takođe usko povezana sa uslovima hlađenja i uslovima disipacije toplote mete.
Magnetne mete mogu se podijeliti na dva tipa "cilja direktnog vodenog hlađenja" i "indirektnog cilja hlađenja vode" na osnovu metode hlađenja.
S obzirom na starenje cilja nakon dugoročne upotrebe, njegovi uslovi za dispanziranje toplote su loši i uzimajući u obzir različite koeficijente prenosa toplote različitih ciljanih materijala, maksimalna snaga opterećenja magnetronskog meta i stvarna maksimalna snaga direktnog cilja za hlađenje vodom mogu se postaviti lagano manje od gornje granice gustine gustine. A stvarno maksimalno opterećenje indirektnog cilja za hlađenje vode može se postaviti oko polovine gornje granice gustine gustine.
Kada se magnetronske mete (uglavnom Cu, Ag, Brass i Al bronze) "samopropustavaju", obično koristi magnetronsku municiju koja je specijalno dizajnirana da "direktno hladi vodom". Konačna snaga prenosa mora biti veća od gornje granice ciljne gustine snage.