Princip rada i shematski dijagram kriogene pumpe

Princip rada i shematski dijagram kriogene pumpe

Princip rada kriogene pumpe je ispušni plin fizičkom adsorpcijom na površini ultra niskih temperatura.

Kriogena pumpa može postići izuzetno visoki vakuum (10-11 Pa) i ima prednosti brze ispušne brzine, bez ulja i neograničenog smjera ugradnje. Njegova struktura prikazana je na slici 1 .

Fig. 1 shematski dijagram strukture kriogene pumpe

1 - prvi stupanj hlađenja; 2 - sekundarni rashladni sto; 3 - kriogeni pokrivač; 4 - zaštitni poklopac; 5 - pregrada

Prvi stupanj hladnog stola za kriogenu pumpu opremljen je zaštitnim poklopcem i pregradom, a temperatura se održava na 80K. Tablica sekundarnog hlađenja održava se na 15K, na kojoj se postavlja poklopac za nisku temperaturu i adsorbent s aktivnim ugljenom.

Vodena para se stvrdnjava na 80K štitu i 80K pregradi. Azot, kiseonik i argon su očvršćeni na kriogenskoj maski od 15K. Vodik, helij i neon se adsorbuju na adsorbent na unutrašnjosti 15K niske temperature kućišta. Kriogenska pumpa može da iscrpi sve gasove, ali ako se previše gasa apsorbuje, brzina izduvnih gasova se smanjuje. U ovom trenutku, kriogena pumpa mora biti zagrejana da bi se oslobodio adsorbovani gas i ponovo upotrebio.