Koji je specifičan proces izgradnje osvjetljenja u magnetronskom principu spuzajući.
Apr 22, 2020| Koji je specifičan proces izgradnje osvjetljenja u magnetronovom principu spuzajući? Kako se zove "Ar gas"?
Pod akcijom primjenjene voltaže između pozitivnih i negativnih elektrode, gasni atomi između elektrode će biti jonizirani. U procesu jonizacije, neki AR-atomi su ionizirani u AR + Iona i elektroni. Elektroni su ubrzani prema anodu od električnog polja, a pozitivno nabijeni AR + ovi ubrzavaju ka katodovoj meti pod akcijom elektro-polja, i oslobađaju odgovarajuću energiju u sudaru sa ciljnom površinom. Jedan od rezultata utjecaja Iona sa odreрenim energijom na meti je da atomi na ciljnom povrљini dobiju odreрene energije i ostave ciljnu povrљinu da se kreću prema substrate. U procesu spuderanja, postoje i druge čestice, uključujući sekundarna elektronsko-misija iz cathoda.
Ovo je otpusni plin, a voltaža je obično u gornjem kilovosu. Ali magnetronsko spuivanje je drugačije.
Tokom magnetronskog sputista, postoji magnetno polje na površini mete, tako da elektroni mogu biti vezani oko mete bez gubitka, formirajući fenomen samoodrživa pražnjenja, a napon se prirodno smanjuje na nekoliko stotina volti. Tokom samoodrznog otpusta, većina argonske jonizacije uzrokovana je bombardiranjem besplatnih elektrona.
e-+ AR → AR + 2 2E-
Ako ste interesantni tip za zaštitu okoliša, kontaktirajte nas odmah, e-mailom:iks.pvd@foxmail.com,više detalja o proizvodnji u "PVD vakuumske mašine"IKS PVD tehnologija (Shenyang) Co., Ltd