Specifične mjere za eliminaciju backflowa pare ulja u sistemu pumpe za difuziju ulja
May 18, 2022| Specifične mjere za eliminaciju backflowa pare ulja u sistemu pumpe za difuziju ulja:
(1) Povećajte startnu snagu difuzione pumpe kako biste skratili zonu prijelaza tlaka kada se mehanička pumpa prebaci s difuzijom pumpom.
(2) Izbjegavajte opasnu zonu backflowa (zona tranzicije) promjenom procesa operacije sistema i korištenjem ventila. Na primjer, visoki vakuumski ventil se može otvoriti predodredjenom brzinom, i može se postupno otvoriti kako bi se osiguralo da je protok plina u difuzijsku pumpu manji od maksimalnog pomaka, a mehanička brzina pumpe pumpe kako bi se osigurao pritisak prednje faze difuzione pumpe tako da difuzijska pumpa može postaviti rad. Tako da možemo izbjeći prelaznu zonu.
(3) Poboljšajte proces operacije, i podesite zacjeljujuću snagu difuzione pumpe na najbolju snagu, kako bi se izbjegla pojava eksplozije ulja pumpe ključanje; Općenito, backflow difuzione pumpe će dostići vrhunac u procesu grijanja i zatvaranja, tako da se visoki vakuumski ventil na ustima pumpe može koristiti za kontrolu i izbjegavanje backflowa.
(4) Dodajte tekući vodik hladnu zamku ili adsorpcionu zamku na ulazu difuzijske pumpe kako bi uhvatili flowback ulje pare.
(5) Odaberite visokokvalitetnu difuzionu pumpu radnu tekućinu
IKS PVD firma, ukrasna mašina za prevlačenje, mašina za prevlačenje alata, DLC mašina za prevlačenje, mašina za optičko prevlačenje, PVD vakuumska linija, na raspolaganju je projekt ključa za okretanje. Kontaktiraj nas odmah, E-mail:iks.pvd@foxmail.com