Uvod o vakuum

1. osnovno poznavanje vakuum

"Vakuum" znači prostor od bilo koji plinoviti stanje pod tlak koji je ispod atmosferskog tlaka. Plin je Tanji u ovaj prostor, barem Tanji nego atmosfera, ali apsolutni "vakum", to jest, prostor bez bilo plinovitih čestica nije pronađena, i deset tisuća kilometara od zemlje, postoje 3 ~ 4 kubičnih centimetara po Kubni centimetar molekula.

Kao stupanj vakuma je problem veličine tlaka plina i jedinicu za mjerenje tlaka je jedinica za mjerenje stupnja vakuum. Međunarodna standardna jedinica je "Tata", koji može se mjeriti u "Torima", "Bar" i "mbar". Odnos između njih je dao po sljedećoj formuli:

1 standardni atmosferski tlak = 1,01 x 105 Pa = 760 Torima = 1,01 x 103 mbar

2. zašto trebate kaput u vakuumu?

Isparavanje prevlaka materijal ispod atmosferskog tlaka u obliku ideal filma, u stvari, kao i niska dovoljno tlaka (ili vakuuma nije dovoljno visoka) pod uvjetom istog ne mogu dobiti dobri rezultati, kao što su 102 podrška reda pod pari, film nije Samo sumorno, čak i siva, crna i mehaničku čvrstoću je siromašan, četkom za nježno očetkajte vjeverica će uništiti aluminijski sloj. Isparavanje mora provoditi u određenim vakuum uvjetima, zbog:

(1) viši vakuum stupanj osigurava prosječno slobodan put u isparivač je veća udaljenost od izvora u bazu.

Zbog toplinske gibanja molekula plina, sudara između molekula je izuzetno česta, brzina kretanja molekula gasa je vrlo visoka (do nekoliko stotina metara u sekundi), ali kao to poteze naprijed češće od drugih molekula sudara, u Udaljenost molekula kreće između dva uzastopna sudara se zove slobodan putu i statistički znači slobodan put od velikog broja molekula zove se srednja slobodan put molekule.

Budući da je tlak plina razmjeran broj molekula po jedinici volumena, prosječna slobodno držanih srazmeran tlak plina. U procesu vakuum taloženje tankim filmovima, kada je taloženje udaljenost veća od molekularne znači slobodan put, zove se nizak vakuum taloženje, i kada je taloženje udaljenost manja od molekularne znači slobodan put, to se zove visoki vakuum Žao mi je. U visoki vakuum taloženje proces, isparavanje atoma (ili molekula) i sudara molekula Preostali plin je zanemariv, tako da ispareno atoma letjeti ravno prema podlozi i tako čuva veća Kinetička energija dosežu u ispareno atoma podloge i podloge kondenzira u više solidan film. U nizak vakuum iskazu, brzinu i smjer ispareno atoma promijeniti s posljedica sudara, ili čak i formiranje paru atoma agregata u prostoru. Razlog je slična onoj u vodene pare u atmosferi.

(2) Preostali plin zagađenje može biti smanjen na veći vakuum

U slučaju vakuma nije previsoka, vakuum komora sadrži veliki broj preostale molekule plina (kisika, dušika, vode i ugljikovodika, i sl.), koje može donijeti veliku štetu na oplatu od tankog filma:

● nalete na raspršen filma molekula tako da znači slobodan put postaje kraći.

● Sudaraju s i reagirati s površinom biti formirana filma.

● Oni se kriju u formirani filmski i postupno napad filma; Oni kombiniraju s isparavanjem izvorom za smanjenje vijeka trajanja.

● Oni formiraju na površini sloja oksida isparila filma tako da isparavanje proces ne može se provoditi glatko.

3. Vakuum mjerenja

Razvoj suvremene vakuum tehnologije omogućio je da Mjeri vakuum tlak od atmosferskog tlaka do 10 12pa, nije moguće koristiti samo jednu vrstu vakuum mjerilo to obaviti mjerenje rada u širokom rasponu i postoji nekoliko vrste vakuum mjerenje vakuma ocijenilo odnosno kompletiranja svog asortimana:

(1)  Termoelementom vakuum kolosijeki Pirani vakuum manometar

Unutar određenog raspona, Toplinska vodljivost plina je funkcija tlaka, što je princip mjerenja termoelementom i Pirani mjerila.

Termoelementom vakuum kolosijek usvaja metode mjerenja promjene temperature direktno na posao. Kad grijanje trenutni održava konstanta, ako se smanji tlak plina, a zatim Toplinska vodljivost plina opada, radna temperatura u termoelementom povećava, odgovarajuće termoelektrični sila koja je kroz povećanje u odnos između tlaka i elektromotorna sila utvrditi sustav tlaka.

Pirani vakuum mjerila i termoelementom mjerila su također korišteni kao vakuum domet mjerenja. Pirani vakuum kolosijek je staklo ili metal školjka, ljuska je opremljen sa visoke temperature otpornost žice (kao što su platina, Volfram, itd.), pad tlaka, temperatura vlakna i otpor će se povećati, prema izmjerenog na vrijednost otpora, pritisak vrijednosti se mogu posredno dobiti.

(2) hladna katoda Ionizacije Vodomjera

Hladna katoda ionizacije vakuum metar se također naziva Penning vakuum metar. Kada se odvodna cijev je djelovao na tlak niži od 102 - mbar, od molekule plina iz katode da cink par elektron sudara sa plinom molekularne obraditi rijetko, tako da struja nije vezano za tlak plina. Ako magnetsko polje ojačan u vertikalnom smjeru gibanja elektrona, a zatim putanja gibanja elektrona postaje spirala, tako da uvelike povećava mogućnost elektron jonizirajućih molekule plina. Čak i pri vrlo niskim plina gustoće, velike količine plinova može biti ionizirana. Kada anodnog napona i jakost magnetskog polja su stalna za određeni sastav plina, ionske struje se izravno odnose tlaka, što je princip rada hladna katoda vakuum kolosijek.