Čimbenici nejednake tankog filma uzrok Magnetron Rasprašenje vakuum premaza Machine

Faktori neravna sloj nanijeti mimoMagnetron prskanje vakuum premaza machineuključivati tri aspekta: vakuum država, magnetsko polje i argon plin.

Princip rada naMagnetron prskanje vakuum premaza machineje to pod vakuum država, elektron ortogonalna magnetsko polje bombardirati argon i formira argonski Ionski, zatim bombardiranjem mete materijal, tako da cilj iona može biti uplaćen na površini izradak u obliku tankog filma.

Vakuum država treba crpni sustav za kontrolu i svaki otvor treba biti istovremeno aktivirati i dosljedan. Ako je pumpa nije jedinstvena, tlak unutar vakuumske komore će biti neujednačena. Pritisak ima određeni utjecaj na kretanje iona. Osim toga, vrijeme pumpanja mora biti kontrolirana. Prekratko će izazvati nedovoljna vakuum, ali je predugo i rasipanje resursa.

Magnetska polja radi ortogonalno, ali nemoguće je da intenzitet magnetskog polja 100% uniformu. Gdje opće magnetsko polje je jaka, debljinu filma je veliki, ali mala je Naprotiv, tako će izazvati nedosljednost debljinu filma. Međutim, u procesu proizvodnje, neravnine filma zbog na neujednačenost magnetskog polja nije uobičajena.

Argon plin uniformnost također utječe na filmu uniformnost, a princip je sličan vakuum. Jer Argona ulazi u vakuum komori, pritisak unutar komore će se promijeniti. Jedinstvene tlaka može kontrolirati ujednačenost debljina magnetron prskanje vakuum premaz stroja.

Za više od deset godina,IKSspecijaliziran za sve vrste vakuum premaz programskom opremom proizvodnja, posvećena istraživanju i razvoju i proizvodnji vakuum premaza machine, uz najnoviju tehnologiju stalno proizvode za potrebe tržišta vakuum premaz opreme , pružajući klijentima s prilagođenim tehnoloških rješenja i opreme.