Glavni uređaj za obradu elektronskih zraka

Glavni uređaj za obradu elektronskih zraka

Uređaj za obradu elektronskih zraka uglavnom se sastoji od sljedećih dijelova:

E lektronski pištolj

Uređaj za dobivanje elektronske zrake, koji uključuje:
1. Elektronska emisijska katoda - izrađena je od volframa ili tantala i emituje elektrone u uslovima grejanja.
2, upravljajte kapijom - ne samo da upravljaju snagom elektronskog snopa, već imaju i primarni efekat fokusiranja.
3. Ubrzana anoda - obično je uzemljena, a pošto katoda ima visok negativan pritisak, može pokrenuti elektrone da se ubrzavaju.

Vakuum sistem

Osigurajte vakuum potreban za elektroničku obradu. Stupanj vakuuma općenite obrade elektronskih zraka održava se na 1,33 × 10-2 ~ 1,33 × 10-4 Pa.

Upravljački sistem i napajanje

Upravljački sistem uključuje kontrolu fokusiranja snopa, kontrolu položaja snopa, kontrolu snage snopa i kontrolu pomaka tablice.
Kontrola fokusiranja snopa: povećava gustoću energije elektronskog snopa, što određuje otvor blende ili širinu tačke obrade.
Metoda fokusiranja: prvo, visokonaponsko elektrostatsko polje se koristi za fokusiranje protoka elektrona u fini snop; Druga metoda je upotreba "elektromagnetskog sočiva" za fokusiranje na magnetno polje.

Kontrola položaja snopa: mijenja smjer elektrona.
Kontrola pomicanja stola: kontrolirajte položaj stola tijekom obrade.
Napajanje: zahtjevi za stabilnost visokog napona, koji se obično koriste za stabilizaciju napajanja.

IKS PVD Elektronska mašina za optičku prevlaku beam IKS-OPT2700, Više detalja, dobrodošli kontakt iks.pvd@foxmail.com