Difuzijska pumpa ultra-visoka vakuumska jedinica

Difuzijska pumpa ultra-visoka vakuumska jedinica
Krajnji vakuumski stepen ultra-visoke vakuumske jedinice sa difuzijom pumpom kao glavnom pumpom je 10-7~10-8Pa.
Kako bi se smanjio uticaj backdifuzije gasa iz prednje faze difuzione pumpe i backdifuzije blokiranja mehaničkog pumpnog ulja na krajnjem vakuumskom stepenu, difuzijska pumpa s niskom brzinom pumpe može se instalirati u prednjoj fazi difuzione pumpe kako bi se smanjio omjer kompresije i difuzija leđa. Ako se dobro sublimacije titanija doda iznad dolazne difuzione pumpe, može se dodatno smanjiti dušikov parcijalni pritisak iz difuzijske pumpe i može se dobiti ultra-visoki vakuum od 10-11Pa.

IKS PVD firma, ukrasna mašina za oblaganje, mašina za oblaganje alata, mašina za optički preliv, PVD vakuumska linija. Kontaktirajte nas odmah, E-mail: iks.pvd@foxmail.com