Klasifikacija cilja Magnetron katoda
Jun 08, 2018| Cilj magnetnog prskanja je mehanički delovi vakuumske prevlake, a takođe i elektronske komponente snage. Iz perspektive korišćenja ciljnog napajanja, više smo zabrinuti zbog električnih performansi.
1. Prema mehaničkoj strukturi
Prema mehaničkoj strukturi i obliku cilja, magnetronska meta za prskanje uglavnom su podeljena u ravni (pravougaone ili kružne) magnetronske mete, koaksijalne koercivne magnetronske mete, konusno oblikovane konusne magnetronske mete (S pištolj) i nekoliko drugih.
2. Prema planarnim ciljnim materijalima
Planarni cilj je podijeljen na ravne pravougaone magnetronske mete, planarne kružne magnetronske mete i arc-magnetronske dvojne namjene kompozitne strukture planarne mete.
3. Prema magnetnom polju
(1) Magnetne mete mogu se klasifikovati u trajne magnete i elektromagnete u zavisnosti od načina formiranja magnetnog polja.
(2) Prema razlici u rasporedu i distribucionoj poziciji magnetronske mete u vakuumskoj komori i razlike u raspodeljenosti magnetnih polova i magnetnih linija, može se podijeliti na uravnotežen magnetronsko raspršivanje i neuravnoteženo magnetronsko sputteriranje (neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje može učiniti da se plazma proširuje od ciljne površine kako bi se poboljšao kvalitet sloja površinskog sloja i efekat nanošenja jona velikih površina profilnog radnog predmeta.) Neuravnoteženi magnetronski sistem za raspršivanje magnetnog polja zatvorenog magnetnog polja može dobiti visok stepen depozicije i kvalitetnije tanke filmove .
(3) Neuravnoteženo magnetsko polje magnetonskog cilindra se može dobiti ne samo promenom veličine i čvrstoće unutrašnjeg i spoljašnjeg trajnog magneta, već i sa dva seta elektromagnetnih namotaja ili korišćenjem mešovite strukture elektromagnetnih namotaja i trajnih magneti, a takođe dodati dodatna solenoida između katode i supstrata za promjenu magnetskog polja između katode i supstrata i kontrolu odnosa pozitivnih jona i atoma u taložu za najbolje rezultate.