Karakterizacija stupnja vakuuma, jedinice i podjela vakuumskog područja

Karakterizacija stupnja vakuuma, jedinice i podjela vakuumskog područja

IKS PVD, proizvodimo PVD opremu za vakuumsko premazivanje, kontaktirajte nas sada, iks.pvd @ foxmail.come

Nije baš razumno koristiti pritisak za predstavljanje stupnja vakuuma, koji je korišten u povijesti mjerenja vakuuma manometrom u-tipa.

U opštem vakuumskom sistemu, hidrostatska fizička veličina izotropnog pritiska neutralnog gasa se obično koristi za izražavanje stepena vakuuma. Stoga se mjerenje stupnja vakuuma svodi samo na mjerenje tlaka. Međutim, posebnu pažnju treba posvetiti uvjetima mjerenja, koji su stacionarni (slučajni pokret), stacionarno stanje i izotropni pojedinačni neutralni plin u konačnom spremniku. U ovom slučaju, raspodela brzine maxwella, zakon kosinusnog rasipanja i koncept hidrostatskog pritiska (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) relativno su konzistentni sa objektivnom realnošću, merenje stepena vakuuma je relativno jednostavno i lako.

Prema definiciji stupnja vakuuma, bolje je izraziti stupanj vakuuma molekulskom gustoćom n, i nije kontradiktorno izraziti stupanj vakuuma tlakom. Kada se meri pritisak, gas je generalno u ravnotežnom stanju i zadovoljava maksvellov zakon raspodele brzine, tj. P = nkT je tačan. Temperatura gasa je konstantna u vreme merenja, tako da je pritisak gasa p proporcionalan molekularnoj gustini n. Drugim rečima, pritisak je mera molekularne gustine, tako da se vakuum može izraziti kao pritisak.

U svemirskim istraživanjima, predmet istraživanja je kretanje beskonačnog prostora (1 ~ 10 KMS - 1 ili više) i pod djelovanjem složene nestabilne, integrisane atmosfere okruženja, zakon Max raspodjele brzine i zakon kosinusnog rasipanja ne mora nužno, također izgubio je originalno fizičko značenje, tako da je pritisak vakuumskog mjerenja složeniji i teži.

U principu, popularan je i koristi se za izražavanje stepena vakuuma pritiskom, ali nije jedini. Sljedeći parametri se također mogu koristiti za izražavanje stupnja vakuuma:

Kada je stepen vakuuma veoma visok, tj. Kada je molekularna gustina veoma mala, statistička fluktuacija je vrlo očigledna. Na primer, kada je pritisak p = 10-12pa, statistička fluktuacija je veća od 5 puta 10-2, a pritisak je izgubio svoj pravi značaj. Stoga je u nekim slučajevima pritisak samo relativni pokazatelj drugih količina .

1. Pitanja i odgovori

Vakuumske jedinice?

Pritisak gasa koji je definisan sudaranjem molekule gasa na površini je brzina vremenske promene vertikalne komponente momenta molekula gasa koji se sudara sa jediničnom površinom, tj. Sila primljena po jedinici površine u Paskalu. ili Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

U inženjerstvu, ponekad je vrijednost pa je premala, kPa i MPa se često koriste za izražavanje pritiska. Nizak vakuum, ponekad izražen kao "vakuum postotak", kao što je vakuumska pumpa sa vodenim prstenom, klipna vakuumska pumpa i vakuumska pumpa ravnih korijenskih zraka često se izražava u ovom jediničnom vakuumu. Kada je pritisak p> 102Pa, procenat vakuuma je delta.

Gdje: p0 - standardni atmosferski tlak, Pa

Vacuum zoning

Sa jedinicom za mjerenje stupnja vakuuma, stupanj vakuuma se može kvantitativno izraziti. Međutim, u ovom trenutku, raspon pritiska koji je uključen u vakuumsku tehnologiju dostigao je 20 redova veličine, da bi se olakšala upotreba, ponekad je samo potrebno grubo ukazati na opšti raspon stupnja vakuuma, obično kvalitativno podijeljenog na nekoliko područja, približno u vakuumu. . Fizičke karakteristike molekularnog gibanja plina u vakuumu i efektivni radni opseg vakuumske pumpe i vakuumskog mjernog uređaja razmatrane su u osnovi podjele regija.

Što se tiče podjele vakuumskih regija u Kini, uvjeti vakuumske tehnologije (gb3163-1982) propisuju sljedeće:

Grubi vakuum, mali vakuum i visoki vakuum se dijele prema prosječnom slobodnom putu molekula plina u usporedbi s karakterističnom veličinom d spremnika. Glavno razmatranje je da li sudar između molekula gasa ili sudara između molekula gasa i zida uređaja igra odlučujuću ulogu u nastanku fizičkih fenomena.

Granica između visokog vakuuma i ultra visokog vakuuma je postavljena kao 10-6Pa. Glavni razlog je razmatranje mehanizma vakuumske fizičke adsorpcije. Samo kada je tlak p <10-6pa očigledan,="" može="" se="" dobiti="" difuznom="" pumpom="" za="" ekstrakciju,="" a="" pritisak="" se="" mjeri="" ba=""> Što se tiče granice između ultra visokog vakuuma i ultra visokog vakuuma, to je zato što se statistička fluktuacija (veća od 5 * 10-2) javlja kada p <10-12>

Gornja područja vakuuma su podijeljena na regije koje predstavljaju raspon tlaka, iz razloga što je pritisak još uvijek izražen u stupnjevima. Međutim, u niskom vakuumu, visokom vakuumu, vrlo visokom vakuumu i vrlo visokom vakuumu, navedeni pritisak je bitno različit, samo relativna indikacija drugih količina.

Fizičke karakteristike vakuuma, vakuumske pumpe i vakuumskog mjernog uređaja koje se koriste u svakoj regiji detaljno su opisane u tablici 1.

Razvojem vakuumske tehnologije, takođe se promijenila podjela vakuumskih regija.