Snaga visokog napona MF Magnetron sputtering

Ovaj izvor snage MF magnetronskog napajanja MF-a može implementirati funkciju gašenja luka razumno i brzo na osnovu potpunog ispunjavanja zahtjeva za električnom energijom. A napajanje ima savršene mogućnosti prikaza i zaštite pod naponom, ...

Pošaljite upit
Skinuti

Uvod u proizvod

Specifikacija

Model proizvoda	EP80A125H
Ulazna snaga i frekvencija (V / Hz) Tri faze i četiri žice	AC380 + N
Ulazna snaga i frekvencija (V / Hz) Tri faze i četiri žice	60Hz
Izlazni strujni opseg (A)	0 ~ 80
Tačnost Za konstantni napon i konstantnu struju	≤1%
Nazivni izlazni napon (DCV)	1250
Maksimalna izlazna snaga (KW)	100
Krug duznosti(%)	80
Težina (KG)	80
Vanjske dimenzije (MM)	575 (D) × 480 (Š) × 250 (V)
Izolacioni razred	B
Produktivnost (%)	90
Klasa zaštite kućišta	Ip21
Režim rada	Konstantni napon, konstantna struja i konstantni režimi snage su opcionalni. Konvencionalni izlaz: konstantna struja
Režim hlađenja	Voda-hlađenje
Spoljni interfejs	Proizvodi ove serije usvojili su Microcontroller za dodirni ekran

Karakteristike

◆ Močni izvor napajanja MF magnetronskog napajanja visoke snage može implementirati funkciju gašenja luka razumno i brzo na osnovu potpunog ispunjavanja zahtjeva za napajanje. A napajanje ima savršene mogućnosti prikaza i zaštite pod naponom, prenaponskim naponom, preopterećenjem, pregrevanjem itd. Takođe, može sputati neprovodne ciljeve i povećati brzinu jonizacije kako bi efikasno prevazišli trovanje ciljem i nenormalno pražnjenje.

◆ Napajanje koristi naprednu visokofrekventnu tehnologiju za napajanje invertera i IGBT modul za smanjivanje izlaznog elementa za skladištenje energije, zbog čega sloj sloja je izuzetno gusto i glatko.

◆ Korišćenjem mikrokontrolera na dodir, napajanje je visoko integrisano i moćno sa jednostavnom funkcijom. Prikaz struje i napona je vrlo jasan i intuitivan.

◆ PHP arc suppression tehnologija obezbeđuje da korisnici mogu da kontrolišu kvalitet sloja sloja koji je pogodniji u procesu površinskog tretmana. Takođe, imajući karakteristike stabilizacije napona i idealnog coup de foue, napajanje može efikasno da spreči izduvavanje na površini radnog predmeta i značajno poboljša proizvodni prinos, kao i površinsku finoću i filmsku adheziju pločica.

◆ Napajanje nudi tri moda (konstantni napon, konstantna struja i konstantna snaga) od kojih možete izabrati. U poređenju sa tradicionalnim režimom konstantne struje, režim konstantne snage može bolje osiguravati ponovljivost procesa premaza.

◆ Napajanje može komunicirati sa domaćim računarom preko digitalnih portova kao što su RS232, RS485, WIFI i tako dalje, koji proširuju svoju kontrolnu funkciju.

◆ Sa širokim spektrom izlazne snage i frekvencije, napajanje može zadovoljiti potrebe različitih procesnih aplikacija.

◆ Glavni parametri mogu se podesiti u velikom opsegu.

Aplikacija

Visokotonacni MF magnetronski izvor napajanja se široko koristi u plazma, fizičkim, hemijskim, medicinskim i raznim naučno-istraživačkim poljima, može zadovoljiti širok spektar zahtjeva procesa naročito u opremi za vakuumsko premazivanje.

Usporedba performansi U poređenju sa napajanjem napajanja od 30kw MF Magnetron sputtering

Režim proizvoda	Srednja frekvencija od 30kW	EP125A80H
Frekvencija (KHZ)	40	40
Krug duznosti(%)	80	80
Napon (V)	800	800
Struja (A)	38	125
Maksimalna snaga (KW)	30	100

Prednosti High Power MF Magnetronskog sputtering izvora napajanja EP125A80H

◆ Iskorišćenje velikog prostora peći

EP125A80H zahtijeva manje ciljeva međufazne frekvencije i osigurava veće korištenje peći i bolje proizvodne kapacitete.

◆ Odlična tehnologija supresije luka

EP125A80H usvaja tehnologiju PHP arc suppression, tako da korisnici mogu pogodno da kontrolišu kvalitet filma u procesu površinskog tretmana kako bi dobili bolju strukturu filma.

◆ Dobra kompatibilnost

Korisnici mogu direktno zamijeniti postojeći napon magnetronskog napajanja sa EP125A80H, a umjesto zamjene katodnih materijala i magnetskih polja potrebno je samo zamijeniti sistem hlađenja.

◆ Visok odnos snage i volumena

Odnos od velike snage do količine čini korisnicima lakšu integraciju instalacije opreme.